SÜSS MicroTec erhält Großauftrag für Lithographie-Projektionsscanner

(DGAP-Media / 24.09.2015 / 10:50)

Garching, 24. September 2015 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von
Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte
Märkte, hat im dritten Quartal 2015 einen bedeutenden Auftrag von einem
führenden Hersteller der Halbleiterindustrie für Lithografie-Geräte aus dem
Hause SUSS MicroTec Photonic Systems erhalten. Dieser strategisch wichtige
Auftrag hat ein Volumen im höheren einstelligen Millionen Euro Bereich und
umfasst mehrere Projektionsscanner des Typs DSC300 Gen2, die in der SÜSS
Produktionsstätte in Corona, USA, gefertigt werden.
Die DSC300 Gen2 bietet vergleichbare Fähigkeiten in Hinblick auf Auflösung
und Overlay bei gleichzeitig höherem Durchsatz und damit geringere Kosten
als herkömmliche Projektionsstepper. Mit dieser erfolgreichen Produkt- und
Technologiequalifizierung hat das Unternehmen seine Führungsposition im
Advanced Packaging Segment ausbauen können.
Die Geräte sind für die Serienfertigung im Wachstumssegment Fan-out
Wafer-Level Packaging vorgesehen. Die Auslieferung und Installation wird
bereits Anfang 2016 beginnen.
"Die DSC300 Gen2 ist das einzige System auf dem Markt, welches die Vorteile
der Vollfeldbelichtung mit denen der Projektionslithografie in einem Gerät
kombiniert", erklärt Dr. Markus Arendt, General Manager SUSS MicroTec
Photonic Systems. "Wir sind über die Möglichkeiten, die die DSC300 Gen2 dem
Unternehmen eröffnet, sehr erfreut. Der intensive Qualifizierungsprozess
mit unserem Schlüsselkunden hat demonstriert, dass die DSC300 den
Anforderungen hinsichtlich Technologie und Kosten in vollem Umfang
entspricht."

Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt
von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz
der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen
besuchen Sie www.suss.com.



Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
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