Die KLA Tencor Corporation hat ihren Hauptsitz in Milpitas, Kalifornien, USA und befasst sich mit der Herstellung von Geräten zur Inspektion von
Wafern. Unternehmenseigenen Angaben zufolge nimmt der Konzern im Bereich Prozesskontrolle und Ertragsmanagement für die Halbleiterindustrie und Mikroelektronikunternehmen die weltweit führende Position ein.
Die Geräte im Produktsortiment der KLA Tencor Corportation werden unter anderem zur Messung der Krümmung und Rauigkeit der Wafer eingesetzt sowie der Beschaffenheit und den Eigenschaften von dünnen Filmen auf den Wafern, beispielsweise der Brechungsindex und die Dicke. Die Geräte dienen zudem zur Feststellung von Oberflächendefekten von Wafern. Die Leistungspalette der KLA Tencor Corporation umfasst sämtliche Bereiche von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Produktion. Die Produktbereiche gliedern sich in die Segmente Wafer Manufacturing, Chip Manufacturing, Reticle Manufacturing, Solar Manufacturing, Data Storage Media / Head Manufacturing, MEMS Manufacturing, High Brightness LED Manufacturing, Compound Semiconductor Manufacturing, Labs, General Purpose und Certified Used Equipment.
Das Unternehmen KLA Tencor Corporation entstand 1997 durch die Fusion der 1976 gegründeten Firmen KLA Instruments und Tencor Instruments.
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