Panasonic schließt sich für die Verbesserung von Halbleiterfertigungsprozessen mit IBM Japan zusammen - Seite 2

Die beiden Unternehmen planen, zuerst das neue System für den Back-End-Prozess zu entwickeln und sich dann in Zukunft mit einer Ausdehnung des Anwendungsbereichs auf den Front-End-Prozess zu befassen.

Funktionen des neuen Systems mit hohem Mehrwert

1. Weiterentwicklung von Plasmaschneidern durch automatische Rezepterstellung
Der von den beiden Unternehmen gemeinsam entwickelte Rechenalgorithmus ermöglicht Kunden, ihre gewünschte Schneidform (Ätzform) zu erhalten, welche je nach Produkt variiert, und automatisch Geräteparameter zu erstellen, die aus hunderten Kombinationen bestehen. Es wird erwartet, dass diese Funktion die Produkteinführungszeiten sowie die Entwicklungskosten erheblich reduzieren wird. Sie kann auch auf das APC-System angewandt werden, welches die Geräteparameter in Übereinstimmung mit variierender Prozessqualität von Front- und Back-End-Prozessen automatisch anpasst; dadurch bleiben die bearbeiteten Formen stabil, welches zu einem qualitativ hochwertigen Schneideprozess führt.

2. Weiterentwicklung von Plasma-Reinigern durch FDC
FDC sammelt kontinuierlich Betriebsdaten von laufenden Fertigungsgeräten, entdeckt Fehler mithilfe seiner eigenen Datenanalysemethode und ermöglicht die automatische Auslegung des Zustands der Geräte. Diese Funktion generiert Wartungszielbereiche sowie erforderliche Häufigkeit für Geräte, prognostiziert und verhindert Fehler, optimiert die Wartungsplanung, reduziert Stillstandzeiten von Geräten und verbessert Betriebsraten.

IBM ist seit mehr als 100 Jahren ein führendes Unternehmen in der IT-Branche und ein führendes Unternehmen in der Halbleiterbranche bei der Forschung und Entwicklung fortschrittlicher Miniaturisierungsbearbeitungstechnologie und erzielt in 300mm-Halbleiterfertigungsanlagen in aller Welt solide Geschäftsergebnisse. Ferner leistet IBM als Lösungsanbieter für Produktionsbetriebssysteme, die eine Non-Stop vollständige Automatisierung in Fabriken ermöglichen, seit Jahren einen Beitrag zur Halbleiterfertigungsbranche. Da Halbleiter in aufkommenden Technologien wie IoT und modernsten Computertechniken eine entscheidende Rolle spielen, steigt der Bedarf nach Verfeinerung und Miniaturisierung von Halbleitern. IBM geht bei seiner Arbeit über die herkömmlichen Grenzen hinaus und möchte die Realisierung smarter Fabriken durch die gemeinsame Entwicklung mit Panasonic fördern und damit einen neuen Wert für die Gesellschaft schaffen.