SÜSS MicroTec setzt auf umweltfreundliche LED-Technologie für Mask Aligner

DGAP-Media / 26.04.2016 / 10:45

SÜSS MicroTec setzt auf umweltfreundliche LED-Technologie für Mask Aligner

Garching, 26. April 2016 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, gibt
heute die Markteinführung eines neuartigen UV-LED-Lampenhauses für den
Einsatz in den ersten Belichtungsgeräten, welche seit mehr als fünfzig
Jahren am Markt erfolgreich sind, bekannt. Seit seiner Gründung ist das
Unternehmen bestrebt, ökonomisches Denken und Handeln mit nachhaltigen
Aspekten in Einklang zu bringen. Mit der Entwicklung- und Umsetzung des
umweltfreundlichen UV-LED-Lampenhauskonzepts für Mask Aligner ist SÜSS
MicroTec ein weiterer wichtiger Schritt in Hinblick auf Ressourcenschonung
und Umweltschutz gelungen.

Die Lebensdauer der innovativen UV-LED-Lichtquelle ist um ein Vielfaches
höher als bei der bisher verwendeten Quecksilberdampflampe. Zusätzlich
entfallen im Produktionsprozess die zeit- und energieintensiven Aufwärm-
und Abkühlphasen - die LED muss nur dann eingeschaltet werden, wenn eine
Belichtung tatsächlich durchgeführt wird. Beide Faktoren tragen wesentlich
zum geringeren Energieverbrauch bei. Zudem stellt die LED Technologie
hinsichtlich des Gesundheits-, Arbeits- und Umweltschutzes eine deutlich
verbesserte Lösung dar. Schlussendlich ermöglicht der Einsatz von LED
Beleuchtung in der Lithografie eine deutlich flexiblere Prozessgestaltung
und ist damit eine ideale Ergänzung zur SUSS Mask Aligner MO Exposure
Optics, was optimale Belichtungsergebnisse sicherstellt.

"Das neue LED-Lampenhaus bedient sich der neuesten Technologie und erfüllt
darüber hinaus die steigende Nachfrage nach Umweltschutz und
Energieeffizienz.", sagt Dr. Per-Ove Hansson, CEO von SÜSS MicroTec. "Durch
die Kombination von Innovationen mit unserer Umweltstrategie schaffen wir
nicht nur Kostenvorteile für unsere Kunden, sondern schützen gleichzeitig
unsere Umwelt."

Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt
von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz
der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen
besuchen Sie www.suss.com.




Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: [phone]
Fax: [phone]
Email: [e-mail]


Ende der Pressemitteilung

---------------------------------------------------------------------------

Emittent/Herausgeber: SÜSS MicroTec AG
Schlagwort(e): Forschung/Technologie

26.04.2016 Veröffentlichung einer Pressemitteilung, übermittelt durch DGAP -
ein Service der EQS Group AG.
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent / Herausgeber verantwortlich.

Die DGAP Distributionsservices umfassen gesetzliche Meldepflichten,
Corporate News/Finanznachrichten und Pressemitteilungen.
Medienarchiv unter http://www.dgap-medientreff.de und http://www.dgap.de

---------------------------------------------------------------------------


Sprache: Deutsch
Unternehmen: SÜSS MicroTec AG
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching
Deutschland
Telefon: [phone]
Fax: [phone]
E-Mail: [e-mail]
Internet: www.suss.com
ISIN: DE000A1K0235
WKN: A1K023
Indizes: TecDAX
Börsen: Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard);
Freiverkehr in Berlin, Düsseldorf, Hamburg, München,
Stuttgart


Ende der Mitteilung DGAP-Media
---------------------------------------------------------------------------

457759 26.04.2016