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SÜSS MicroTec führt LI Serie - die neuen Operator unterstützten Oberflächen Laser-Imager in den Markt ein
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0 KommentareDGAP-News: SÜSS MicroTec AG / Schlagwort(e): Produkteinführung
SÜSS MicroTec führt LI Serie - die neuen Operator unterstützten Oberflächen
Laser-Imager in den Markt ein
18.05.2016 / 14:00
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent verantwortlich.
SÜSS MicroTec führt LI Serie - die neuen Operator unterstützten Oberflächen
Laser-Imager in den Markt ein
18.05.2016 / 14:00
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent verantwortlich.
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SÜSS MicroTec führt LI Serie - die neuen Operator unterstützten Oberflächen
Laser-Imager in den Markt ein
Garching, 19. Mai 2016 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, gibt
heute die bereits vorangekündigte Markteinführung der LI Serie, der neuen
Oberflächen Laser-Imaging-Plattform, bekannt.
Die vielseitig einsetzbare Oberflächen Laser-Imaging-Plattform LI eignet
sich sowohl für Sub-mikrometer Strukturierungen von belackten Substraten
als auch zur Mikro-Ablation, zur fotochemischen Behandlung als auch für
Messtechnikverfahren.
Die Strukturen, welche durch CAD-Verfahren vordefiniert sind, werden durch
präzise Bewegungen der zu strukturierenden Substrate unter einem
fokussierten und abtastenden Laserstrahl übertragen. Darüber hinaus ist die
Konfiguration der Oberflächen Laser-Imaging-Plattform extrem flexibel
anpassbar, so dass die jeweiligen Kundenanforderungen bestmöglich erfüllt
werden können. Das System kann Substrate mit einem kleinen Durchmesser bis
hin zu Durchmessern von 300 mm bearbeiten und erreicht dabei eine
Auflösung von 0,8 µm. Die Oberflächen Laser-Imaging-Plattform ermöglicht
des Weiteren eine Mehrschichtausrichtung, welche durch optische Systeme zur
oberen und unteren Ausrichtung unterstützt wird. Zusätzlich zu dem 405nm
GaN Laser für standardmäßige Lithografieprozesse mit dünnen
Fotolackschichten, kann ein zweiter Laser installiert werden, welcher
weitere Arbeitsabläufe, wie beispielsweise die Prozessierung dicker
Lackschicken, z.b. SU8, oder infrarot-sensibler Materialien ermöglicht.
Ein großer Vorteil der neuen Oberflächen Laser-Imaging-Plattform ist die
herausragende Flexibilität, die sich optimal für die verschiedenen
Anforderungen der akademischen sowie der industriellen Forschungs- und
Entwicklungsinstitute eignet. Die wichtigsten Anwendungsbereiche sind die
Nano- und 3D-Strukturierung für hochauflösende Lithografieverfahren,
Mikrofluidik, Maskenherstellung und die Definition von mikrooptischen
Komponenten.
"Mit der LI Serie ergänzen und erweitern wir unser Produktportfolio um ein
Gerät, welches komplementär zu unseren bestehenden Belichtungsgeräten im
Hinblick auf die gestiegenen Anforderungen an hochauflösende Anwendungen
ist.", sagt Dr. Per-Ove Hansson, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec
AG. "Mit dieser Produkteinführung verstärken wir unsere Führungsposition
und bieten somit die umfassendste Palette von Produkten und Technologien
für den Forschungs- und Entwicklungsbereich in der Lithografie."
Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt
von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz
der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen
besuchen Sie www.suss.com.
Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
Email: franka.schielke@suss.com
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18.05.2016 Veröffentlichung einer Corporate News/Finanznachricht,
übermittelt durch DGAP - ein Service der EQS Group AG.
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent / Herausgeber verantwortlich.
Die DGAP Distributionsservices umfassen gesetzliche Meldepflichten,
Corporate News/Finanznachrichten und Pressemitteilungen.
Medienarchiv unter http://www.dgap-medientreff.de und http://www.dgap.de
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Sprache: Deutsch
Unternehmen: SÜSS MicroTec AG
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching
Deutschland
Telefon: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
E-Mail: ir@suss.com
Internet: www.suss.com
ISIN: DE000A1K0235
WKN: A1K023
Indizes: TecDAX
Börsen: Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard);
Freiverkehr in Berlin, Düsseldorf, Hamburg, München,
Stuttgart
Ende der Mitteilung DGAP News-Service
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464625 18.05.2016
SÜSS MicroTec führt LI Serie - die neuen Operator unterstützten Oberflächen
Laser-Imager in den Markt ein
Garching, 19. Mai 2016 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, gibt
heute die bereits vorangekündigte Markteinführung der LI Serie, der neuen
Oberflächen Laser-Imaging-Plattform, bekannt.
Die vielseitig einsetzbare Oberflächen Laser-Imaging-Plattform LI eignet
sich sowohl für Sub-mikrometer Strukturierungen von belackten Substraten
als auch zur Mikro-Ablation, zur fotochemischen Behandlung als auch für
Messtechnikverfahren.
Die Strukturen, welche durch CAD-Verfahren vordefiniert sind, werden durch
präzise Bewegungen der zu strukturierenden Substrate unter einem
fokussierten und abtastenden Laserstrahl übertragen. Darüber hinaus ist die
Konfiguration der Oberflächen Laser-Imaging-Plattform extrem flexibel
anpassbar, so dass die jeweiligen Kundenanforderungen bestmöglich erfüllt
werden können. Das System kann Substrate mit einem kleinen Durchmesser bis
hin zu Durchmessern von 300 mm bearbeiten und erreicht dabei eine
Auflösung von 0,8 µm. Die Oberflächen Laser-Imaging-Plattform ermöglicht
des Weiteren eine Mehrschichtausrichtung, welche durch optische Systeme zur
oberen und unteren Ausrichtung unterstützt wird. Zusätzlich zu dem 405nm
GaN Laser für standardmäßige Lithografieprozesse mit dünnen
Fotolackschichten, kann ein zweiter Laser installiert werden, welcher
weitere Arbeitsabläufe, wie beispielsweise die Prozessierung dicker
Lackschicken, z.b. SU8, oder infrarot-sensibler Materialien ermöglicht.
Ein großer Vorteil der neuen Oberflächen Laser-Imaging-Plattform ist die
herausragende Flexibilität, die sich optimal für die verschiedenen
Anforderungen der akademischen sowie der industriellen Forschungs- und
Entwicklungsinstitute eignet. Die wichtigsten Anwendungsbereiche sind die
Nano- und 3D-Strukturierung für hochauflösende Lithografieverfahren,
Mikrofluidik, Maskenherstellung und die Definition von mikrooptischen
Komponenten.
"Mit der LI Serie ergänzen und erweitern wir unser Produktportfolio um ein
Gerät, welches komplementär zu unseren bestehenden Belichtungsgeräten im
Hinblick auf die gestiegenen Anforderungen an hochauflösende Anwendungen
ist.", sagt Dr. Per-Ove Hansson, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec
AG. "Mit dieser Produkteinführung verstärken wir unsere Führungsposition
und bieten somit die umfassendste Palette von Produkten und Technologien
für den Forschungs- und Entwicklungsbereich in der Lithografie."
Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt
von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz
der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen
besuchen Sie www.suss.com.
Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
Email: franka.schielke@suss.com
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Fax: +49 (0)89 32007-451
E-Mail: ir@suss.com
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ISIN: DE000A1K0235
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