Die Roth & Rau AG hat ihren Firmensitz in Hohenstein-Ernstthal und gilt als einer der führenden Anbieter von Plasmaprozess-Systemen für die Photovoltaikindustrie auf internationaler Ebene. Das seit langem auf globaler Ebene aktive Unternehmen ist mit eigenen Niederlassungen in Schlüsselmärkten wie China, Indien, Korea, Singapur und den USA präsent. Diese übernehmen nicht nur die Vertriebstätigkeit, sondern bieten auch entsprechenden Service vor Ort. Dadurch wird den Kunden zeitnah in sämtlichen Kernmärkten technischer und technologischer Support angeboten.
Das Produkt-Portfolio der Roth & Rau AG umfasst Anlagen und Maschinen für die Photovoltaik- und Halbleiterindustrie,
PECVD-Anlagen für die Passivierung und Antireflexbeschichtung von kristallinen Silizium-Solarzellen, Plasma-Ätzanlagen für die Kantenisolation, Trockenätztechnologien und Plasmaprozessanlagen für die Bereiche Entwicklung und Forschung. Plasma- und Ionenquellen in unterschiedlicher Größe, Konstruktion und mit verschiedensten Wirkprinzipien bilden dabei die Schlüsselkomponenten sämtlicher Prozesssysteme. Als Tochtergesellschaft der Roth & Rau AG agiert die Roth & Rau MicroSystems GmbH in der Entwicklung und Fertigung unterschiedlichster Arten von filamentlosen Kaufman-Ionenquellen, die über einen Strahlendurchmesser zwischen 40 und 220 mm verfügen.
Der Ursprung des Unternehmens liegt in der Gründung der Roth & Rau Oberflächentechnik GmbH 1990 an der
TU Chemnitz. 2001 wurde das Unternehmen in Roth & Rau Oberflächentechnik AG umfirmiert. Aufgrund der neuen strategischen Ausrichtung nach dem Anteilserwerb von 60 % durch den neuen Hauptaktionär Rohwedder AG wurde das Unternehmen 2004 in Roth & Rau AG umbenannt, die im Mai 2006 an die Börse ging.