SALD vermeldet Durchbruch bei Plasma-Atombeschichtung

Eindhoven (ots) -

- Schichten so dünn wie ein Atom lassen sich erstmals bei Raumtemperatur
auftragen
- Breites industrielles Anwendungsspektrum: Solarzellen, Optik,
Verpackungsfolien

Das Technologie-Startup SALD BV (Eindhoven) hat ein neuartiges Verfahren
entwickelt, um dreidimensionale atomare Beschichtungen ("Spatial Atomic Layer
Deposition", kurz SALD) in industriellem Plasma herzustellen. Die Methode mit
der Bezeichnung "Plasma Enhanced SALD" (PE-SALD) stellt einen Durchbruch dar,
indem sie der industriellen Nutzung der SALD-Technologie in der Massenproduktion
den Weg ebnet. Durch das Auftragen der Atombeschichtungen in einer
Plasmaumgebung wird der industrielle Einsatz stark vereinfacht, weil die
technischen Prozesse ab Raumtemperatur ablaufen können. Dadurch wird die
SALD-Nutzung um ein Vielfaches kostengünstiger, wodurch die industrielle
Anwendung etwa in der Halbleiterfertigung, der Solarzellenproduktion, bei
optischen Linsen und in der Verpackungsindustrie vorangetrieben wird. Als
Beispiele nennt die SALD BV deutlich effizientere Solarzellen, verbesserte
optische Filter und Anti-Reflektionsbeschichtungen, robustere Displays für
Smartphones und hauchdünne Verpackungsfolien, die sich rückstandsfrei entsorgen
lassen.

"From Lab to Fab" (vom Labor in die Fabrik)

"Seit Jahrzehnten träumen Fertigungsingenieure davon, SALD in der Produktion
einzusetzen. Jetzt überschreiten wir diese Schwelle und bringen die atomare
Beschichtungstechnologie aus dem Labor in die Industrie, also from Lab to Fab",
erklärt Frank Verhage, CEO der SALD BV, stolz. PE-SALD hat seine Wurzeln in der
ALD-Entwicklung. Bei ALD handelt es sich um das Ursprungsverfahren "Atomic Layer
Deposition", mit dem sich eine Schicht von der Dicke eines einzelnen Atoms (etwa
1,1 Angström bzw. 0,00000011 Millimeter) auftragen lässt.

Beinahe unendliches Funktionsspektrum

Beim SALD-Verfahren (das "S" steht für "spatial", also räumlich) wird ein
Trägermaterial dreidimensional mit mehreren atomdünnen Schichten überzogen. Mit
jeder Schicht lassen sich jeweils andere Materialien aufbringen, so dass es zu
chemischen Reaktionen der Substanzen kommt. Bei den Oberflächenmaterialien kann
es sich beispielsweise um Metalle, Oxide, Nitride, Sulfide, Fluoride oder andere
Stoffe handeln. Durch die Vielzahl der möglichen Kombinationen ergibt sich ein
beinahe unendliches Funktionsspektrum, je nachdem, welche Materialien in welcher
Reihenfolge und in wie vielen Schichten aufgetragen werden. In dem
dreidimensionalen Multilayerverfahren lassen sich auf beinahe beliebigen
Oberflächen funktional völlig unterschiedliche Substanzen, komplexe