AIXTRON beteiligt sich an Europas Pilotlinie für Graphen und 2D-Materialien / Finanzierung der experimentellen 2D-Pilotlinie als Teil des „Graphene Flagship' durch die EU / Integration von Graphen und verwandte 2D-Materialien in die Ha

DGAP-Media / 26.11.2020 / 11:18 AIXTRON beteiligt sich an Europas Pilotlinie für Graphen und 2D-Materialien Finanzierung der experimentellen 2D-Pilotlinie als Teil des "Graphene Flagship" durch die Europäische Kommission / Integration von Graphen und verwandte 2D-Materialien in die Halbleiterplattform

Herzogenrath, 26. November 2020 - Als einer der weltweit führenden Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie sind AIXTRON SE (FSE: AIXA) und AIXTRON Ltd (UK) wichtige Partner der Initiative 2D Experimental Pilot Line des "Graphene Flagship". AIXTRON ist deshalb für die Entwicklung der für Graphen und verwandte Materialien (Graphene and Related Materials, GRM) erforderlichen Abscheidemethoden und -prozesse verantwortlich.

Um Graphen- und 2D-Materialien zur Marktreife zu bringen und in Halbleiterbauelemente zu integrieren, wird AIXTRON einen Reaktor für den Prozess der metallorganisch-chemischen Gasphasenabscheidung (Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) entwickeln. Mit diesem MOCVD-Reaktor können diese Materialien direkt auf großen Substraten von bis zu 300 mm Durchmesser unter Verwendung der Close Coupled Showerhead^(R) (CCS)-Technologie abgeschieden werden. Mit Hilfe dieser Wachstumstechnologie können 2D-Materialien und die damit verbundenen Heterostrukturen in Industriequalität hergestellt werden.

Um eine effektive Integration in Schaltungen und Bauelementen sicher zu stellen, erforscht AIXTRON neuartige Prozesse und entwickelt ein System für einen automatisierten Transfer von 2D-Materialstrukturen auf angepasste Bauelementstrukturen. Bei der Pilotlinie spielen diese Plattformen eine Schlüsselrolle für die Integration von Graphen und 2D-Materialien im großen Maßstab in Logik-, Speicher-, Photonik- und Sensorbauelemente.

2D-EPL deckt die gesamte Wertschöpfungskette ab

Die Europäische Kommission stellt für die 2D Experimental Pilot Line (2D-EPL) 20 Millionen Euro für einen Zeitraum von vier Jahren zur Verfügung. Der Startschuss für das Projekt erfolgte am 1. Oktober 2020. Das Projekt wird ein geeignetes europäisches Umfeld für die Prototyp-Produktion von GRM-basierter Elektronik, Photonik und Sensoren schaffen.