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Lambda Physik AG und Jenoptik AG gründen Joint Venture für Nanotechnologie-Forschung

Göttingen, 18. Mai 2001 ­ Die am Neuen Markt notierte Lambda Physik AG (WKN
549 427) hat mit der Jenoptik Laser, Optik, Systeme GmbH ein
Gemeinschaftsunternehmen gegründet, das die Entwicklung und Produktion von
Strahlquellen des extrem ultravioletten Bereichs (EUV) zum Ziel hat. Die
beiden Gesellschaften beteiligen sich an der neu gegründeten XTREME
technologies GmbH zu jeweils 50 Prozent.

"Die Gründung von XTREME technologies entspricht unserem Ziel, für die
Mikrolithographie eine Vier-Wellenlängen-Strategie (248, 193, 157 und 13,5
nm) anzubieten. Die Excimerlasertechnologie, in der wir der führende
Anbieter sind, kann bis zur kürzest möglichen Wellenlänge von 157nm
eingesetzt werden," erläutert Dr. Manfred Rahe, Technologievorstand von
Lambda Physik. "Als Folgetechnologie wird von der Halbleiterindustrie die
EUV-Technologie favorisiert. Unser Ziel ist es, den Kunden die vollständige
Produktpalette von Belichtungsquellen immer kürzerer Wellenlängen zur
Produktion von immer leistungsfähigeren Mikrochips anzubieten. Das Joint
Venture soll die Entwicklung und Produktion solcher EUV-Strahlquellen
vorantreiben" so Dr. Rahe weiter über den Zweck des Unternehmens.

Mit Standorten in Göttingen und Jena wird die XTREME technologies GmbH
elektrisch angeregte Entladungsplasmen und laserinduzierte Plasmaquellen
entwickeln. Die Lambda Physik AG bringt ihr Know-How zu Gasentladung,
gepulsten Schaltungstechnologien und der Excimer- und
Festkörperlasertechnologie ein. Die Jenoptik Laser, Optik, Systeme bringt
ihr Know-How zur Festkörperlaserentwicklung und der Optik ein. XTREME wird
dabei auch das Marketing der Produkte übernehmen. Die zur Marktreife
entwickelten Produkte sollen über die starke Vertriebsorganisation der
Lambda Physik AG verkauft werden, diese stellt auch ihr weltweites
Servicenetz für Betreuung der Kunden zur Verfügung.

Die Geschäftsführung von XTREME wird gleichbereichtigt von Dr. Uwe Stamm,
bisher Leiter des Geschäftsbereiches Wissenschaft und Medizin bei Lambda
Physik und Henry Birner, bisher Leiter Business Development bei Jenoptik
Laser, Optik, Systeme, erfolgen. "Neben dem Zielmarkt Lithographie sehen wir
auch gute Chancen, die entwickelten Strahlquellen in anderen
Anwendungsbereichen einzusetzen." so Dr. Stamm zu den Marktchancen der
EUV-Technologie. In der ersten Etappe der Entwicklungsarbeiten, die bis 2004
läuft, sollen die Grundlagen für spätere EUV-Produktionsquellen geschaffen
werden. Die ersten Prototypen der EUV-Strahlquellen sollen im Jahr 2002 zum
Einsatz kommen.


Über das Unternehmen

Lambda Physik zählt zu den weltweit führenden Unternehmen in der Entwicklung
und Herstellung gepulster UV-Laser wie Excimer-, diodengepumpter Festkörper-
oder Farbstofflaser. Das 1971 als Spin-Off der Max-Planck-Gesellschaft
gegründete Unternehmen ist in spezialisierten Märkten zum alleinigen oder
führenden Anbieter avanciert. Zum Konzern gehören Tochtergesellschaften in
den USA und Japan. Die Lambda Physik AG ist eine Tochtergesellschaft der an
der Nasdaq gelisteten Coherent Inc., Santa Clara, USA. Derzeit sind ca. 370
Mitarbeiter im Lambda Physik Konzern beschäftigt.

Weitere Informationen erhalten Sie unter http://www.lambdaphysik.com oder
bei:

Lambda Physik AG Kirchhoff Consult AG
Claudia Thomé Frank Schwarz
Hans-Böckler-Str. 12 Savignystraße 18
37079 Göttingen 60325 Frankfurt
Tel.: [phone] Tel.: 069 ­ 7474 86 15
Fax: [phone] Fax: 069 ­ 7474 86 20
[e-mail] [e-mail]

[Glueckliches Haendchen]

In der Reuters-Meldung findet man noch einige weitere Details:

Gruß

GH

Berlin (Reuters) - Die Jenoptik AG und die Lambda
Physik AG wollen in einem gemeinsamen Unternehmen
neue Fertigungstechnologien für künftige
Chip-Generationen entwickeln. An dem
Gemeinschaftsunternehmen mit dem Namen XTREME
technologies GmbH sollen beide Partner jeweils zur
Hälfte beteiligt sein, teilte Jenoptik am Freitag mit.
Konkret entwickeln wolle man in dem Joint-Venture
die Quelle für Extreme-Ultra-Violet (EUV) Licht. Das
vom Bundesforschungsministerium unterstützte
Projekt solle den Unternehmen einen
Technologievorsprung sichern, der sich in vier bis fünf
Jahren niederschlagen werde.

Beide Partner wollen in das Gemeinschaftsvorhaben
nach Angaben von Jenoptik jeweils zweistellige
Millionenbeträge investieren. In der bis 2004
reichenden ersten Etappe, solle das Joint-Venture die
Grundlagen für die spätere Serienproduktion schaffen.
Mit der zu entwickelnden neuen Strahlquelle soll das
Auftragen extrem kleiner Chip- Strukturen auf
Silizium-Scheiben ermöglicht werden, was letztlich
schnellere und leistungsfähigere Chips verspreche.